[发明专利]一种光学测量系统在审
| 申请号： | 202210552294.3 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115112610A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 谢婉露;吴晓斌;沙鹏飞;韩晓泉;王魁波;李慧;罗艳;谭芳蕊;马赫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种光学测量系统，包括：光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。所述光学测量腔室内具有测量光学器件性能参数的调节及探测部件以及归一化能量测试装置。所述归一化能量测试装置包括：透射光栅，用于对射入的光束发生多级衍射；可调节光阑，用于阻挡零级光及特定级数以外的衍射光；能量探测器，用于探测相应级数衍射光能量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
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