[发明专利]一种制备T形波导的方法在审
| 申请号： | 202210559049.5 | 申请日： | 2022-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN115084815A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郑建辉 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01P3/00 | 分类号： | H01P3/00;H01P11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备T形波导的方法，属于半导体技术领域。该方法首先在基底上形成待沉积波导的T形区域；然后在T形区域上沉积波导。所以，该方法工艺简单、无需刻蚀波导，制备得到的T形波导具有较高的归一化截至波长、单模带宽、低的特性阻抗、衰减特性，可以降低芯片的传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 波导 方法 | ||
【主权项】：
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