[发明专利]一种用于晶圆生产的挑芯监测装置及其生产方法

摘要

本发明属于晶圆检测装置技术领域，具体涉及一种用于晶圆生产的挑芯监测装置及其生产方法，本用于晶圆生产的挑芯监测装置包括：工控机、划痕检测机构、收集机构、转移机构、转动平台和取芯机构；其中划痕检测机构检测晶圆是否存在划痕，即当晶圆上存在划痕时，工控机控制收集机构收集该晶圆；当晶圆合格时，工控机驱动转移机构将晶圆转移至转动平台上，并控制取芯机构朝向晶圆移动，以从晶圆上相应区域取下芯片；以及工控机控制取芯机构将晶圆的各芯片逐个取下；本发明通过设置划痕检测机构配合收集机构对晶圆进行预处理，从中挑出合格的晶圆通过转移机构转移到转动平台，同时配合取芯机构将晶圆上芯片逐个取下，实现了自动化检测、挑芯的功能。