[发明专利]基于温差发电器件的真空度检测装置在审
| 申请号： | 202210567533.2 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN115183934A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 何海龙;荣命哲;纽春萍;吴翊;任鸿睿;陈晓龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L21/12 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于温差发电器件的真空度测量装置，基于温差发电器件的真空度测量装置中，冷却部分支承于所述真空腔体内，温差发电器件一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，当温差发电器件所处位置的真空度改变，引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据，热阻块层叠于所述温差发电器件的另一端，热源部分层叠且加热所述热阻块，压力气缸施加压力于所述热源部分。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 温差 发电 器件 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
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