[发明专利]氟气中杂质含量分析方法有效
| 申请号： | 202210568434.6 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114814039B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王凤侠;张晓明;傅玉榕;张丽萍;赖金香;李婷 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/66;G01N30/68 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 闫英敏 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氟气中杂质含量分析方法，包括：S1，将a1阀门及b1阀门联通、f1阀门及e1阀门联通；a2阀门及b2阀门联通、f2阀门及e2阀门联通；然后通过a1阀门进样待分析气体定量；S2，将c1阀门及b1阀门联通、d1阀门及e1阀门联通，打开第一载气单元及第一反应气管道，将所述第一定量杯的待分析气体及第一反应气体通入第一反应炉中反应去除氟气；然后进行TCD检测器、FID检测器进行检测；S3，将第二六通阀的c2阀门及b2阀门联通、d2阀门及e2阀门联通，打开第二载气单元及第二反应气管道，将所述第二定量杯的待分析气体及第一反应气体通入第二反应炉中反应去除氟气；然后进行TCD检测器、FID检测器进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 氟气 杂质 含量 分析 方法 | ||
【主权项】：
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