[发明专利]一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法有效
| 申请号： | 202210569227.2 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114963001B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李英杰;罗专文;陈涛;李聃;陈迪 | 申请（专利权）人： | 武汉沅净科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/08;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02;F17C13/02;F17C13/04 |
| 代理公司： | 武汉市首臻知识产权代理有限公司 42229 | 代理人： | 章辉 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统，包括控制箱与多个原料罐，控制箱内设置有进出料阀组、吹扫阀组、压料阀组与真空发生器，化学品接口通过一号气动阀与原料罐的液相接口连通，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀、二号气动阀后通过四号气动阀、五号气动阀分别与原料罐的液相接口、气相接口连通，真空泵接口经三号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，真空发生器经六号气动阀后分别与四号气动阀、五号气动阀连通，六号气动阀与二号气动阀连通，压料气接口依次经二号单向阀、七号气动阀后分别与五号气动阀、气相连接接口连通。本设计不仅适用范围广、可靠性高，而且自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净高 化学品 全自动 供应 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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