[发明专利]一种真空镀膜反光产品及其制备工艺有效

专利信息
申请号: 202210571932.6 申请日: 2022-05-24
公开(公告)号: CN114737154B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 王建峰 申请(专利权)人: 深圳市嘉德真空光电有限公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/26;C23C14/50
代理公司: 北京广技专利代理事务所(特殊普通合伙) 11842 代理人: 安琪
地址: 518000 广东省深圳市光明新区光*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种真空镀膜反光产品及其制备工艺,制备工艺包括以下步骤:将待镀膜产品放入真空室内,使用连接组件将待镀膜产品固定在靶材本体外部;启动旋转组件,旋转组件通过连接组件带动待镀膜产品转动;启动靶材加热组件对靶材本体加热,靶材本体蒸发产生的金属气体沉积在待镀膜产品表面形成反光膜。本发明中,通过启动旋转组件能够带动待镀膜产品转动,待镀膜产品旋转中心线与靶材上表面平行,能够为待镀膜产品外侧壁或内侧壁单独镀膜,适用于长管状结构反光产品的制备,制备过程不会出现旋转中心和外围的待镀膜产品的线速度不相同的问题,从而提高了镀膜质量及反光膜的反光效果。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 反光 产品 及其 制备 工艺
【主权项】:
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