[发明专利]用于电子显微镜的样品的制备方法在审
| 申请号： | 202210574364.5 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114923753A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 孙罗男;王国斌 | 申请（专利权）人： | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种用于电子显微镜的样品的制备方法。所述方法包括如下步骤：提供一初始样品；在所述初始样品的待检测区域形成保护层；沿所述保护层的外围切割所述初始样品，获得一端与初始样品相连的样品片；取出所述样品片；对所述样品片采用离子束轰击进行减薄，所述离子束具有一倾斜角。上述技术方案通过对样品片实施低电压下的减薄，并通过设置离子束的倾角来抑制分散问题，可以在确保减薄效率的情况下有效减少电子束对样品片的轰击，从而降低孔洞产生的可能性，提高成像质量。制作用于电子显微镜的样品的过程中进一步实施多步减薄，调整每一步的电压及电流，提高加工速率，同时也能减少对样品片的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子显微镜 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏第三代半导体研究院有限公司，未经江苏第三代半导体研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210574364.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
