[发明专利]晶圆寻边方法、系统、计算机及可读存储介质在审
| 申请号： | 202210587525.4 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114972259A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 刘万奎;胡文韬;于浩杰;马铁中 | 申请（专利权）人： | 昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/60;G06T7/73 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆寻边方法、系统、计算机及可读存储介质，该方法包括通过激光位移传感器采集晶圆在旋转过程中产生的边缘位置数据；对若干实际采样点进行一次拟合运算，以获取到与晶圆对应的拟合圆数据，并计算出拟合圆数据中的若干标准采样点与若干实际采样点之间的差值；将差值的最大处设定为初始平边位置，并采集初始平边位置处的采样数据；对局部采样点进行二次拟合运算，并识别出目标平边位置的寻边角度以及寻边长度；判断寻边角度以及寻边长度是否小于预设精度值；若是，则判定目标平边位置为晶圆的平边位置。通过上述方式能够规避现场环境光以及晶圆反射率不同所带来的成像稳定性问题，同时可以有效降低算法的复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆寻边 方法 系统 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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