[发明专利]一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置在审
| 申请号： | 202210593151.7 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115011934A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 李长栋;魏承亚;高峰 | 申请（专利权）人： | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 山东国诚精信专利代理事务所(特殊普通合伙) 37312 | 代理人： | 胡秀龙 |
| 地址： | 252000 山东省聊城市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及多弧离子镀技术领域，具体地说就是一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置。一种用于电弧激发的磁性密封旋转装置，包括多弧离子镀装置主体、磁流体密封装置和旋转引弧装置，所述旋转引弧装置与多弧离子镀装置主体通过磁流体密封装置密封转动连接。通过旋转气缸带动引弧部分转动，使引弧杆在转动过程中不断与靶弧源接触，激发电弧放电，能够减少引弧部分与磁流体密封装置之间的相对移动，减少对磁流体密封装置的损坏，延长设备的使用寿命，提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电弧 激发 磁性 密封 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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