[发明专利]体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法在审
| 申请号： | 202210610173.X | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114978090A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 丁焱昆;赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法。该体声波滤波器包括：第一衬底；位于第一衬底上的沿水平方向相邻设置的第一体声波谐振器和第二体声波谐振器，第一体声波谐振器和第二体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器在水平面的正投影无交叠；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器的电极在竖直平面的正投影无交叠，电极包括底电极和顶电极中的至少一个；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器位于第一衬底的同一表面。本发明实施例提供的技术方案，规避了体声波谐振器间的耦合寄生效应，提升了体声波滤波器的带外抑制。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 通信 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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