[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202210612427.1 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN114975448A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 郑基旭;金桐吾;朴硕汉;尹灿植;李基硕;李昊仁;张燽娟;朴济民;洪镇宇 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/108 | 分类号: | H01L27/108;H01L21/8242;H01L21/768;H01L21/8238;H01L23/535;H01L27/092;H01L27/11;H01L29/10;C01G23/053 |
代理公司: | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人: | 李洁;魏文浩 |
地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体装置。所述半导体装置包括:衬底,包括单元区、核心区及位于单元区与核心区之间的边界区;边界元件隔离层,位于衬底的边界区中以将单元区与核心区隔开;高介电常数介电层,位于边界元件隔离层的至少一部分及衬底的核心区上;第一逸出功金属图案,包括与边界元件隔离层交叠的第一延伸部,第一逸出功金属图案位于高介电常数介电层上;以及第二逸出功金属图案,包括与边界元件隔离层交叠的第二延伸部,第二逸出功金属图案位于第一逸出功金属图案上,其中第一延伸部在从核心区朝单元区的方向上延伸的第一长度与第二延伸部在从核心区朝单元区的方向上延伸的第二长度不同。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的