[发明专利]一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法在审

专利信息
申请号: 202210643496.9 申请日: 2022-06-09
公开(公告)号: CN114726335A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 吴淑娴;钱航宇;吴宗霖;唐供宾;邹洁 申请(专利权)人: 深圳新声半导体有限公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H3/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张影
地址: 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法,该叉指换能器通过变迹或加权或变迹与加权结合的方式形成了本发明中的结构,该结构可以使得该叉指换能器中声波传播的方向与能量流动的方向尽可能接近,即可以使该叉指换能器的能流角无限接近于零(声波的相速度和群速度方向一致),从而抑制横向模式杂散的产生,进而改善包含该叉指换能器的声表面波谐振器的性能。
搜索关键词: 一种 叉指换能器 表面波 谐振器 以及 制备 方法
【主权项】:
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