[发明专利]一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统在审
| 申请号： | 202210647288.6 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114965141A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 周佩璠;刘义彬;张宁;高胥华;陈伦强;张曼;胡庆;戴红玲 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 胡素莉 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统，包括：采样皿，用于在线获取抛光液；升降机构，与采样皿相连，用于驱动采样皿升降；升降机构用于设置在抛光液容器内，以使采样皿能够浸入抛光液容器的液面下方；力传感器，连接于采样皿和升降机构之间；控制器，分别与升降机构和力传感器相连，控制器预先存储有采样皿的体积和水的密度，用于当升降机构将采样皿抬升至液面上方时，根据力传感器的检测信号、采样皿的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。可实现抛光液浓度的在线测量，有利于对抛光工艺全过程进行抛光液浓度的实时在线监测，从而提高抛光质量与效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 浓度 在线 测量 装置 液供液 系统 | ||
【主权项】：
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