[发明专利]在线真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 202210651408.X | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114807910B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 任泽明;王号;余长勇;廖骁飞;吴攀;贺超;唐志奇;杨帆;杨进仕 | 申请（专利权）人： | 广东思泉新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/517 | 分类号： | C23C16/517;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 谭裕强 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线真空镀膜生产线，其包括上料输送机构及多个真空镀膜机，上料输送机构用于输送待加工的工件，多个真空镀膜机沿上料输送机构的输送方向排布，每个真空镀膜机独立设置，真空镀膜机包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，结构本体具有一镀膜腔室，料架和电极各安装于镀膜腔室内，镀膜原料发生装置适于往镀膜腔室输送工艺气体，真空发生装置与镀膜腔室连通并用于使镀膜腔室形成真空环境。本发明的在线真空镀膜生产线具有生产灵活的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 真空镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
