[发明专利]一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法在审
| 申请号： | 202210653510.3 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN115044865A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 孔祥盛;胡汉林;陈文礼;刘继伟;孙俊伟;包悦 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于镀制膜层的掩膜组件及其制作方法，涉及图形化镀膜设备领域，用于待镀部件镀制中。该组件包括掩膜片、具有第一通孔的掩膜片载板、具有第二通孔的定位基板，掩膜片载板与定位基板固定连接，掩膜片与掩膜片载板固定连接，第一通孔与第二通孔对应；第二通孔用于放置待镀部件，掩膜片的图形化处理区域对应第一通孔，定位基板和掩膜片位于掩膜片载板的同一侧。本申请具有第二通孔的定位基板和掩膜片分别与具有第一通孔的掩膜片载板固定连接，镀制时直接将待镀部件放置在第二通孔处，无需取放掩膜片，简化工艺流程，提升镀制效率，且可以避免在取放掩膜片时对掩膜片以及对待镀部件造成的损伤，降低镀制成本，提升待镀部件的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀制膜层 组件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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