[发明专利]半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质在审
| 申请号： | 202210656532.5 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114839941A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 蒋治纬;黎焕诚;陈咏裕 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘亚威 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质。该方法包括：通过周期性监测机台运作时设置的工艺配方，以根据工艺配方中各配方参数的参数值确定该工艺配方对应生产配方中的展示参数。该展示参数即表征需要人工为其参数值进行设定几率较大的配方参数，这样在对生产配方的配方参数进行调整以生成用于机台执行的黄金工艺配方时，通过在可视化界面内仅展示该生产配方的展示参数，以减少相关人员从众多配方参数中找寻可调参数的时间。并且，上述流程大幅降低了配方管理系统将配方参数调用到可视化界面内展示的响应时间，提高黄金工艺配方的分配效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺 配方 分配 方法 系统 设备 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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