[发明专利]用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车在审
| 申请号： | 202210659759.5 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN114959914A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 宋涛;汪佳;王建军;张龙飞;李兆颖;周来平 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车，取棒工装包括：支架组件；夹爪组件，夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托；传动组件，传动组件包括：弹性连接组件、第一连接杆和第二连接杆，弹性连接组件的一端与支架组件的上端相连，弹性连接组件的另一端与底托组件相连，底托沿上下方向在第一位置和第二位置之间可移动，当底托向下移动到第一位置时，底托带动弹性连接组件伸长，在第一连接杆和第二连接杆的带动下，第一夹爪和第二夹爪朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态。根据本发明的取棒工装，有利于降低生产成本，且可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硬轴单晶炉 工装 单晶炉 组件 取棒车 | ||
【主权项】：
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