[发明专利]一种高纯度氯气的分析方法在审

专利信息
申请号: 202210659773.5 申请日: 2022-06-13
公开(公告)号: CN114965821A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 彭佛晓;邓前;刘丽娜 申请(专利权)人: 北京高麦克仪器科技有限公司
主分类号: G01N30/06 分类号: G01N30/06;G01N30/02;G01N30/64
代理公司: 北京冠和权律师事务所 11399 代理人: 万晶晶
地址: 100000 北京市顺义区仁和镇林*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种高纯度氯气的分析方法,包括以下步骤:对四通阀一连通的取样管路进行氦气吹扫;使十通阀一、十通阀二处于反吹状态,将电子级氯气吹扫置换定量环一和定量环二;将十通阀一、十通阀二切到进样状态,推动定量环一、定量环二中的样品气到预分离柱一、预分离柱二中进行分离;待样品气中的杂质组分完全进入分离柱一、分离柱二时,十通阀一、十通阀二切到反吹状态,将预分离柱一、预分离柱二中的氯气反吹排空:继续推动分离柱一、分离柱二中的杂质组分经四通阀二进入D I D检测器进行检测,解决了GM592D I D气相色谱仪中的仪器色谱柱脱附氯气较慢的技术问题。
搜索关键词: 一种 纯度 氯气 分析 方法
【主权项】:
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