[发明专利]一种耐等离子体刻蚀绝缘介质板及其制备方法在审
| 申请号： | 202210667348.0 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN114900939A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陈旭东;冯峰;杜鹏程;田杏欢;成星;李庆 | 申请（专利权）人： | 重庆丝路智能制造研究院有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 404100 重庆市南*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及高压放电绝缘介质板技术领域，尤其涉及一种耐等离子体刻蚀的绝缘介质板及其制备方法，包括以下步骤：S1、研磨绝缘介质板及制备薄膜材料；S2、在绝缘介质板上喷涂薄膜材料；S3、热处理制得成品。本发明中的绝缘介质板表面粗糙化处理后喷涂薄膜，能有效保护绝缘介质板材料不被等离子刻蚀和不被高压击穿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 刻蚀 绝缘 介质 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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