[发明专利]声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置在审
| 申请号： | 202210674194.8 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115085688A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 邹雅丽;黄烜;杨新宇;汤正杰 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/02;H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置，其中声表面波谐振装置包括：压电基底；位于压电基底上的电极结构，电极结构包括第一电极层、以及位于第一电极层上的第二电极层，第一电极层的材料密度范围为11000～20000千克每立方米。通过将第一电极层选用材料密度大于钼的材料密度的材料，在减小第一电极层的厚度同时获取更大的质量，以增加声表面波谐振装置的机电耦合系数同时降低波速，进而使得器件结构的尺寸减小，提升芯片的集成度。而且第一电极层的厚度减小也会使得应力减小，进而减少压电基底出现翘曲或损坏的问题。另外，所述第一电极层的厚度减小，可以相应增加所述第二电极层的厚度，以达到减小电学损耗的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
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