[发明专利]一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺有效
申请号: | 202210679593.3 | 申请日: | 2022-06-15 |
公开(公告)号: | CN115008342B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 李加海;杨慧明;李元祥 | 申请(专利权)人: | 安徽禾臣新材料有限公司 |
主分类号: | B24B37/22 | 分类号: | B24B37/22;B24B37/26;B24D11/00;H01L21/02 |
代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 陈菊 |
地址: | 238200 安徽省马鞍山市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,属于无蜡垫技术领域,包括基垫层,所述基垫层的下方连接有抛光层,基垫层与抛光层中间开设有中空槽,中空槽的内部设置有松紧调整组件,所述基垫层的上方内设置有吸附层,基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。本发明一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,有效提高抛光层内部强度,增加其使用寿命,转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷,边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下,边缘向上翘,由多组加固杆进行支撑加固,有效保证抛光层表面平整度,防止表面松弛抛光时挤压导致崩角,增加无蜡垫的质量,有效对转杆限位,提高转杆调整后的稳定性,有效防止杆体脱位。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 抛光 用防崩角 无蜡垫 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
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