[发明专利]一种基于化学法制备自支撑BaTiO3在审

专利信息
申请号: 202210688478.2 申请日: 2022-06-17
公开(公告)号: CN115182034A 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 张林兴;席国强;程昕蕊;李航任;丁佳麒;田建军 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: C30B1/02 分类号: C30B1/02;C30B5/00;C30B29/32;C30B29/64
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 岳野
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于信息功能材料、功能薄膜和柔性电子技术领域,涉及一种基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺,该工艺为:在不同单晶基片上,采用化学旋涂的方式首先在基片上外延生长Sr3Al2O6/BaTiO3结构;利用Sr3Al2O6的可溶于水的特性,将其浸泡在去离子水中12h小时以上,充分溶解即可得到自支撑BaTiO3单晶薄膜。本申请可以通过控制前驱液浓度、旋涂转速、退火次数调控单晶薄膜厚度;在使用化学旋涂法生长BaTiO3单晶薄膜过程中不会对Sr3Al2O6薄膜层造成损害。该方法适用于大面积柔性功能层的剥离,对全化学法制备自支撑氧化物钙钛矿单晶薄膜具有重要意义。
搜索关键词: 一种 基于 化学 法制 支撑 batio base sub
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