[发明专利]一种X-ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统及方法

摘要

本发明公开了一种X‑ray检测芯片缺陷的感官融合对角识别定位系统及方法，包括芯片缺陷检测末端装置和至少一个载物台；芯片缺陷检测末端装置包括读写器、深度相机、X‑ray射线管、X‑ray射线检测器和主控制器，深度相机用于获取图像信息和深度信息，读写器用于发送和接受射频信号，读写器的中心和X‑ray射线管中心重合，X‑ray射线管用于发射X‑ray射线，X‑ray射线检测器用于接受X‑ray射线并把数据传递给主控制器；载物台上均布有n个射频标签，n个射频标签将载物台的平面划分为m个矩形的检测分区，射频标签用于接受读写器发出的射频信号；通过融合识别技术快速定位到目标检测区域的准确位置，并进行多角度多方位扫描，提高了图像处理的精度和效率，从而提高了检测效率。