[发明专利]分批炉组件和操作分批炉组件的方法在审
| 申请号： | 202210704428.9 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115523754A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | T.G.M.奥斯特拉肯;L.吉迪拉;H.特霍斯特 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D1/18;F27D5/00;F27D19/00;F27D21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于处理晶片的分批炉组件，包括限定处理室并具有处理室开口的处理室壳体、限定晶片舟室的晶片舟壳体、门组件、差压传感器和控制器。门组件具有关闭位置，在该关闭位置，其关闭处理室开口。门组件在关闭位置限定门组件室，该门组件室具有用于向门组件室供应吹扫气体的吹扫气体入口，用于将处理室与晶片舟室气体密封地分开。差压传感器组件流体连接到门组件室，并配置成确定门组件室中的压力和参考压力室中的参考压力之间的压差。控制器配置成确定压差是否在期望压力范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 分批 组件 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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