[发明专利]LCOS结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210714466.2 申请日: 2022-06-22
公开(公告)号: CN115097673A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 小堺隆;范世伦;格培文 申请(专利权)人: 豪威半导体(上海)有限责任公司
主分类号: G02F1/1339 分类号: G02F1/1339;G02F1/1337;G03B21/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 尤彩红
地址: 201611 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种LCOS结构及其制作方法,包括:半导体基底,其上形成有多个像素区;玻璃基底,玻璃基底与半导体基底相对设置;液晶层,液晶层位于半导体基底与玻璃基底之间;塑料墙,塑料墙设置于半导体基底与玻璃基底之间,塑料墙分隔并包围液晶层以使液晶层与像素区一一对应;第一框胶,每个塑料墙的周圈环绕设置有第一框胶,且第一框胶中不含支撑球。塑料墙支撑形成半导体基底与玻璃基底之间的厚度方向的空间,并容纳液晶层,塑料墙粗略定义能容纳的液晶量并使液晶层尽量避免和第一框胶在固化前接触。通过控制塑料墙高度和滴入的液晶量来控制盒厚。第一框胶中不含支撑球不会对第一框胶下方的电路造成损伤,提高了LCOS结构的良率。
搜索关键词: lcos 结构 及其 制作方法
【主权项】:
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