[发明专利]电子级三氯氢硅提纯装置及方法在审
| 申请号： | 202210716920.8 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115105850A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 宋高杰;武珠峰;夏进京;张治锦;郑宝刚 | 申请（专利权）人： | 内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;B01D3/32;B01D3/42;B01D15/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张萍;罗建民 |
| 地址： | 014100 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级三氯氢硅提纯装置及方法，该装置包括：粗馏塔组，包括至少n个串联的粗馏塔，其中，n≥3，粗馏塔为填料塔，粗馏塔的第2～n级的任意一级粗馏塔的填料上设置有吸附单元，吸附单元用于吸附除去粗三氯氢硅中含有硼、磷的杂质，粗馏塔组用于通过粗馏分离除去粗三氯氢硅中的轻组分、重组分杂质；精馏塔，与粗馏塔组连接，精馏塔用于通过精馏得到电子级三氯氢硅。本发明实现三氯氢硅粗馏提纯、吸附除杂的融合，可以在粗馏过程中有效除去三氯氢硅中微量的杂质，大大提高了三氯氢硅提纯效率；吸附单元设置于粗馏塔填料之上，避免了现有技术中吸附过程放热造成的吸附柱超温、超压，保障了吸附剂的长周期平稳运行。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级三氯氢硅 提纯 装置 方法 | ||
【主权项】：
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