[发明专利]掩模板框架及掩模板组件在审
| 申请号： | 202210726300.2 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115110028A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 赵莹;张磊;王盼盼;李慧;朱修剑 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种掩模板框架及掩模板组件，该掩模板框架用于使掩模板张网于掩模板框架上，掩模板相对两端具有焊接部；其中，掩模板框架具有镂空部，掩模板框架用于与掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区，支撑区位于焊接区靠近镂空部的一侧，且支撑区具有凹凸结构，以向焊接部提供阻止褶皱生成的作用力。该掩模板框架可有效防止掩模板因焊接而产生褶皱和/或褶皱向掩模板的有效蒸镀区延伸，蒸镀精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 框架 组件 | ||
【主权项】：
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