[发明专利]一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置在审

专利信息
申请号: 202210736995.2 申请日: 2022-06-27
公开(公告)号: CN115011946A 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 李明娟;刘伟波 申请(专利权)人: 滨州学院
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/50
代理公司: 青岛恒昇众力知识产权代理事务所(普通合伙) 37332 代理人: 刘敏
地址: 256600 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及等离子体气相沉积技术领域,具体为一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置,包括:反应仓,反应仓的内部设置有活塞杆;活塞杆,活塞杆的表面设置有连接杆,连接杆的端部安装有收集架,收集架的顶部安装有第一立杆,第一立杆的顶部设置有立杆,立杆的顶部设置有伸缩杆,伸缩杆的端部安装有清理板及气缸,设于反应仓的底部;有益效果为:本发明提出的气缸带动活塞杆上升,活塞杆上升后通过连接杆带动收集架上升,清理板表面的第一刮除杆接触到反应仓的内壁,将反应仓内部的残留物刮除,且第一刮除杆的端部设置有第二刮除杆,加大刮除的面积,且第一刮除杆的底部设置有刮除板,刮除板对反应仓内部的残留物进一步的刮除。
搜索关键词: 一种 用于 航空 材料 等离子体 沉积 装置
【主权项】:
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