[发明专利]扫描电镜二次电子探测器在审
| 申请号： | 202210746212.9 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN114899071A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 潘结春;陈禹涛;吴天成;张俊 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/16;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、导光柱、闪烁体、高压线、馈电组件、KF法兰支架、紧固件、外壳、光电倍增镜和电源。根据本发明的扫描电镜二次电子探测器，通过在馈电组件的馈电端设置馈口，馈口内具有馈电针，馈电针与高压线的另一端通过贯穿孔连接，KF法兰支架设于馈电端和筒体组件之间，实现从馈口到第一容纳空间的密封性，从而保证高压线和馈电针处在密封的空间内，进而保证扫描电镜二次电子探测器工作时，高压线和馈电针位于真空密封的环境内，有效减少高压线对电信号的干扰，使二次电子成像更加清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 二次电子 探测器 | ||
【主权项】：
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