[发明专利]抛光机在审
| 申请号： | 202210748697.5 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115026705A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 吴倩;郑金龙;王金灵;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/02;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 提供一种抛光机，其包括底座、抛盘以及泡沫发生器，底座能够旋转，底座具有收容凹部，收容凹部用于收容待抛材料；抛盘能够旋转，抛盘具有周壁、底壁以及多个抛光颗粒，周壁和底壁围成腔体，底壁具有沿上下方向贯通的多个通孔，多个抛光颗粒固定在底壁的平的下表面上并与多个通孔的开口间隔开，多个抛光颗粒用于在抛盘旋转过程中对待抛材料进行表面抛光；泡沫发生器用于使抛光液形成泡沫且形成的泡沫经由多个通孔的开口流出到对待抛材料的表面上。由于形成的泡沫经由多个通孔的开口流出到对待抛材料的表面上，这样使得泡沫能够更为均匀地分布到待抛光的表面的各个部位而不会受到抛光颗粒在径向上的任何阻挡，提高了抛光液所形成的泡沫的抛光作用。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光机 | ||
【主权项】：
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