[发明专利]一种遮蔽板及化学气相沉积装置

摘要

本申请公开了一种遮蔽板及化学气相沉积装置；遮蔽板包括第一遮蔽段、第二遮蔽段及过渡段，第一遮蔽段和第二遮蔽段垂直设置，以及过渡段分别与第一遮蔽段和第二遮蔽段的端部连接，其中，第一遮蔽段、第二遮蔽段和过渡段合围成一开口，第一遮蔽段包括远离遮蔽板的中心的第一侧边，第二遮蔽段包括远离遮蔽板的中心的第二侧边，过渡段包括连接第一侧边和第二侧边的第三侧边，第三侧边与第一侧边和第二侧边呈夹角设置；本申请通过将遮蔽板的第三侧边与第一侧边和第二侧边呈夹角设置，使过渡段的面积减少，从而增大遮蔽板的过渡段与腔室的间隙，增大过渡段处的气流量，从而提高过渡段处的清洁气体的密度，从而加快自清洁的速率，缩小自清洁的时间。