[发明专利]一种UVW对位平台在审
| 申请号： | 202210775252.6 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115061509A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 熊星;江灿福;王传福;王国雄 | 申请（专利权）人： | 苏州希盟科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;H02K7/10;H02K7/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 任德欣 |
| 地址： | 215321 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于对位平台技术领域，公开了一种UVW对位平台。该UVW对位平台包括基座、移动机构、旋转支撑组件、工作台、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，工作台和基座相对设置，四个移动机构呈矩形排布在基座上，每个移动机构的输出端均与一个旋转支撑组件的输入端连接，每个旋转支撑组件的输出端均与工作台连接，第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构的输出端依次与三个移动机构的输入端连接，第一驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第二驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第三驱动机构用于驱动工作台沿Y方向移动。驱动机构设置在真空罩的外部，保证了真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 uvw 对位 平台 | ||
【主权项】：
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