[发明专利]一种晶圆检测样品台有效
| 申请号： | 202210779293.2 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN115060935B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王强;贺涛;金永斌;朱伟;丁宁;章圣达;陈伟 | 申请（专利权）人： | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明晶圆检测样品台涉及半导体测试和探针台技术领域；所述晶圆检测样品台包括圆台、环槽、楔块和驱动盘，圆台的内部设置有一空腔，圆台的上表面设置有环槽，环槽的底部与该空腔连通，环槽下方沿竖直方向滑动设置有楔块，楔块的顶部设置有能够封堵环槽的堵头，楔块下方的空腔内沿水平方向滑动设置有驱动盘，在样品无法完全覆盖环槽时，通过朝向未覆盖方向推动驱动盘，驱动盘向上推动楔块，使未被覆盖一侧的楔块向上滑动，将环槽部分封闭，覆盖一侧的楔块不动，使环槽形成一能够被样品完全覆盖的半环，通过半环吸附样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 样品 | ||
【主权项】：
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