[发明专利]一种远程配电柜在审
| 申请号： | 202210791028.6 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115189247A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 高阔;严亮 | 申请（专利权）人： | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H02B1/30 | 分类号： | H02B1/30;H02B1/32;H02B1/56;H02B1/24 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种远程配电柜，涉及半导体领域。远程配电柜包括柜体、第一电源及第二电源。柜体具有依次层叠设置的第一腔体、第二腔体以及第三腔体。通过将电气器件容置在第一腔体，以方便控制电气器件，通过将第一电源容置在第二腔体内，第二电源容置在第三腔体内，以提高射频电源，从而实现对PECVD腔体和真空传输平台等设备进行供电。由此可见，本发明提供的远程配电柜布局合理，空间占用小，方便维护，使用成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 配电柜 | ||
【主权项】：
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