[发明专利]半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法在审
申请号: | 202210799317.0 | 申请日: | 2022-07-08 |
公开(公告)号: | CN115623788A | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 崔元根 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H10B43/27 | 分类号: | H10B43/27;H10B43/35;H10B43/10;H10B41/27;H10B41/35;H10B41/10 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 原宏宇;张美芹 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法。该半导体存储器装置包括:第一沟道结构和第二沟道结构,二者在第一方向上延伸;第三沟道结构,其设置在第一沟道结构和第二沟道结构之间并且在第一方向上延伸;以及多个导电层,其围绕第一沟道结构、第二沟道结构和第三沟道结构,该多个导电层被层叠以在第一方向上彼此间隔开。第三沟道结构与第一沟道结构和第二沟道结构间隔开,并且没有插置多个导电层。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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