[发明专利]加热装置及包括其的基板处理装置在审
| 申请号： | 202210802010.1 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN116202216A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 赵旼熙;姜元荣;宋峻浩 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/14 | 分类号： | F24H1/14;F24H9/1818;F24H9/20;F24H15/25 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种能够稳定且有效地加热处理液的加热装置。加热装置包括：第一单元加热器，包括第一流路；第二单元加热器，包括第二流路；以及第一管状件，连接第一单元加热器和第二单元加热器，其中，处理液流经第一流路、第一管状件和第二流路，并且通过第一单元加热器和第二单元加热器被加热，第一单元加热器包括：第一管道，沿第一方向延伸并且其内部包括沿第一方向形成的第一流路；第一输入端子，形成在第一管道的表面上且沿第一方向延伸；第一输出端子，形成在第一管道的表面上，沿第一方向延伸，并且与第一输入端子隔开；以及彼此隔开的多个第一加热线，形成在第一管道的表面上，并且连接第一输入端子和第一输出端子。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 包括 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210802010.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
