[发明专利]光源装置、曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202210835115.7 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN115639728A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 春见和之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光源装置、曝光装置以及物品的制造方法。一种光源装置，具有排列有多个LED的LED模块和通过液冷对所述LED模块进行冷却的冷却器，所述LED模块的发光量可变，在所述发光量为第1发光量的情况下流过大于预定的电流值的电流而发光的LED的数量比在所述发光量为大于所述第1发光量的第2发光量的情况下流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED的数量少。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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