[发明专利]微型反射镜阵列加工方法及系统在审
| 申请号： | 202210860109.7 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN114924406A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 施可彬;高翔;马睿;杨燕青;李艳莉;贺心雨;王艳丹;耿乐;冯邱锴;杨宏;龚旗煌 | 申请（专利权）人： | 北京大学长三角光电科学研究院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/09;G02B27/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 周治宇 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及微型反射镜阵列器件加工技术领域，提供一种微型反射镜阵列加工方法及系统，其中微型反射镜阵列加工方法包括：发射第一光束；控制第一光束的照射方向，并调整第一光束的焦点对准在待加工样品上，以使待加工样品的被照射位置发生特性变化，特性变化包括折射率的变化和光化学反应；根据预设轨迹参数控制第一光束的焦点与待加工样品周期性相对移动，以在待加工样品上形成多个微型反射镜结构，形成微型反射镜阵列；该加工方法制备方法简单，能够灵活地调整第一光束焦点与待加工样品之间的相对位置改变微型反射镜阵列的几何参数，无需依赖掩膜版，简化了制备步骤，以适应不同条件下的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 反射 阵列 加工 方法 系统 | ||
【主权项】：
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