[发明专利]一种晶圆UV擦除设备的控制方法在审
| 申请号： | 202210874604.3 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115295051A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 魏强;郑朝生;袁俊;卢旭坤;张亦锋;辜诗涛 | 申请（专利权）人： | 广东利扬芯片测试股份有限公司 |
| 主分类号： | G11C16/14 | 分类号： | G11C16/14;G06F3/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 刘光明 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆UV擦除设备的控制方法，其中，晶圆UV擦除设备包括上位机、UV机和计时装置，控制方法包括：上位机获取对应待擦除晶圆的第一配置信息，并根据第一配置信息发送环境配置指令至UV机；UV机根据环境配置指令对待擦除晶圆配置擦除环境；当擦除环境配置完成时，上位机根据第一配置信息发送预设时长指令至计时装置；计时装置根据预设时长指令进行计时，当达到预设时长时，向UV机发送停机指令以使UV机停止擦除工作。本发明通过独立于上位机的计时装置进行计时，且计时装置在计时达到预设时长后可发送停机指令以使UV机停止擦除工作，避免了因上位机出现异常、宕机而导致无法使UV机停止工作的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 uv 擦除 设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
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