[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板在审
| 申请号： | 202210898927.6 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN115132819A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 卓恩宗;杨凤云;袁海江 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/04 | 分类号： | H01L29/04;H01L29/10;H01L29/16;H01L21/336;H01L29/786;H01L27/12;H01L27/32;H01L27/15 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 杨振礼 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板，包括：提供基板，在所述基板表面形成绝缘层，所述基板和所述绝缘层构成半导体结构；及以预设条件在所述半导体结构的表面形成沟道层，所述沟道层的材质包括微晶硅，所述预设条件包括预设温度区间。本申请的技术方案能够在保证沟道层有较佳的电子迁移率的同时其制备过程不对基板造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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