[发明专利]排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体在审
| 申请号： | 202210904072.3 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115688663A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 河合淳;笠原敬;犬饲恵介 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G06F30/39 | 分类号： | G06F30/39;G06F30/27;G06N3/04;G06N3/08;H01L21/67;G06F115/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 陈甜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体。排程表制作方法是执行多次学习步骤来制作时间安排表的方法。学习步骤包含向用来规定衬底处理装置(WP)的各构成要素的时间安排表的时间表(TB)中，依次配置逐个工序地表示处理工序的各模式(PT)的步骤。向时间表(TB)中依次配置模式(PT)的步骤包含：基于既定的制约条件，从模式(PT)中，取得能配置到时间表(TB)中的1个以上可配置模式(APT)的步骤(步骤S111)；通过机械学习，从可配置模式(APT)中，预测评价值最大化的模式(PT)并进行选择的步骤(步骤S112)；及通过将所选择的模式(PT)配置到时间表(TB)中，而更新时间表(TB)的步骤(步骤S113)。 | ||
| 搜索关键词： | 排程表 制作方法 制作 装置 衬底 处理 系统 记录 媒体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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