[发明专利]一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器及其制造方法在审
| 申请号： | 202210914300.5 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115363271A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 王敏锐;俞挺;李文翔 | 申请（专利权）人： | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/46 | 分类号： | A24F40/46;A24F40/70;A24F40/40 |
| 代理公司： | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人： | 李亭亭 |
| 地址： | 311231 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器，包括：硅衬底和电极，电极制作于硅衬底表面，电极呈环状结构，电极内侧的硅衬底表面上设置有若干个第一条形孔，电极两侧的硅衬底表面上设置有若干个梳齿型雾化通道，梳齿型雾化通道包括第二条形孔和若干个第三条形孔，若干个第三条形孔平行等距布置，第二条形孔设置在第三条形孔远离电极一端，第三条形孔连通至第二条形孔。本发明还公开了一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器制造方法。本发明相较于现有技术，提高雾化通道的加工效率，减少硅衬底上电极热量损失，提高热雾化器芯片的雾化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 衬底 梳齿 通道 雾化器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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