[发明专利]一种工装及物理气相沉积设备在审
| 申请号： | 202210916712.2 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN115323339A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 江毅敏;叶成志;林瑞良;郑鹏;黄宁;王春祥;吴高潮;林亮亮;刘超;陈岱新 | 申请（专利权）人： | 厦门金鹭特种合金有限公司;厦门钨业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工装，包括工装单元和底盘，工装单元包括拨轮和传动机构，拨轮上设有多个安装件，传动机构与拨轮转动连接，传动机构用于带动安装件自转；底盘上设有多个工装单元。本发明中通过设置多个安装件，能够实现产品的安装，能够有效提高产品安装数量，提高单次镀膜产品数量，减小生产成本；通过设置传动机构，能够带动安装件自转，底盘安装到物理气相沉积设备后能够实现围绕物理气相沉积设备中心的公转、围绕工装中心的自转、围绕拨轮中心固定角度自转和安装件自转，能够使产品的涂层均匀性显著提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工装 及物 理气 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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