[发明专利]一种纳米压印的方法在审
| 申请号： | 202210919880.7 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN115373218A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张玉良;李莹;吾晓;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 扈梦曲 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区清池街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种纳米压印的方法。该纳米压印的方法包括：提供压印模板，所述压印模板具有压印结构；提供基板，在所述基板的一表面上涂覆压印胶形成压印胶层；通过所述压印模板对所述压印胶层进行多次压印，其中当前压印时的压力值相较于上一次压印时的压印值增大；固化所述压印胶层，并将所述压印模板从所述压印胶层上脱模。本申请实施例提供的纳米压印的方法减少了压印胶层中的气泡，甚至使得压印胶层中没有气泡，进而可以避免出现残次品产品的情况，从而可以提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 方法 | ||
【主权项】：
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