[发明专利]阵列式薄膜温差传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210920531.7 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115200729A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 阮勇;薛美霞;石萌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01K3/08 | 分类号： | G01K3/08;G01K7/02 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种阵列式薄膜温差传感器及其制备方法，阵列式薄膜温差传感器包括基片、正极敏感层及负极敏感层，正极敏感层包括第一正极、第二正极、第三正极及第四正极，负极敏感层包括第一负极、第二负极以及第三负极，第一正极一端与第一负极一端通过第一热结点连接，第二正极一端与第二负极一端通过第二热结点连接，第一负极另一端、第三负极一端均与第三正极一端通过第三热结点连接，第二负极另一端、第三负极另一端均与第四正极一端通过第四热结点连接，第一正极另一端与第三正极另一端分别形成第一测试端与第三测试端，第二正极另一端与第四正极另一端分别形成第二测试端与第四测试端。本发明能用于判断酸碱管道温度均匀性，测试可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 薄膜 温差 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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