[发明专利]一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202210925230.3 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115439523A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 杜娟;杨钧植 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G06T7/60 | 分类号： | G06T7/60;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/66;G06T5/20;G06T7/12 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 王东东 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质，包括：采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理；在目标图像预先设置的ROI区域内，根据目标边缘拟合得到基准直线；在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度；根据基准直线对目标图像进行角度校正，校正后的目标图像获取引脚区域正向图，并求得引脚轮廓；获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心，并以质心坐标替代引脚顶点坐标，根据质心间距获得引脚间距。本发明不仅提高了边缘直线拟合的准确度，还加快了算法检测速率，大大减少了引脚边缘起伏对检测带来的影响，减少了检测对打光条件的依赖，提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 引脚 尺寸 检测 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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