[发明专利]弯月面测量装置及方法、基板处理装置在审
| 申请号： | 202210946683.4 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115718107A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 姜汉林;张硕元;李载德;陈元镛 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 解媛媛 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括：提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元；使膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案；以及基于所述检测图案，测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。 | ||
| 搜索关键词： | 弯月面 测量 装置 方法 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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