[发明专利]一种脊形波导制作方法在审
| 申请号： | 202210965193.9 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115291325A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 梁万国;冯新凯 | 申请（专利权）人： | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所(普通合伙) 35001 | 代理人： | 郭梦羽 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街镇海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脊形波导制作方法，包括以下步骤：将晶片切割成特定尺寸的晶体；晶片为周期极化铌酸锂晶片；在晶体上切割出宽度为W，深度为H的波导；切割后的晶体包括波导和底座；将基底切割成特定尺寸，在基底上切割出宽度大于W，深度大于H的凹槽；胶合基底和晶体，得到脊形波导，胶合时，波导位于凹槽中；对底座进行抛光减薄，形成薄层；对脊形波导的端面进行抛光再镀膜。本发明通过一个凹槽保护脊形波导，然后反面抛光减薄，从而形成薄膜脊形波导。避免了离子注入建和带来的结构损伤等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脊形波导 制作方法 | ||
【主权项】：
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