[发明专利]等离子体处理装置及使用该装置的等离子体处理方法在审
| 申请号： | 202210967398.0 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115995375A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 崔伦硕;赵顺天;李相政;曹玹玗;朴钟源 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供等离子体处理装置。所述装置包括：腔室，具有产生等离子体的处理空间；以及等离子体产生单元，用于将处理空间内的气体激发为等离子体状态，其中，等离子体产生单元包括：第一电源，提供用于产生等离子体的电力；线圈部，与第一电源连接；第一并联电容器，连接在线圈部的第一节点与接地电源之间；以及第二并联电容器，连接在线圈部的不同于第一节点的第二节点与接地电源之间。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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